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什么是四探针方阻测试仪?该仪器主要由哪几部分组成?
发布时间:2017-10-18 阅读:349
    四探针方阻测试仪适用於半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,高等院校对半导体材料电阻性能的测试。
 
    配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输安全、使用方便;选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成报表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购。

    四探针方阻测试仪主要由主机,测试架等部分组成,测试结果由液晶显示器显示,同时,液晶显示器还显示测量类型(电阻率,方块电阻和电阻)以及探头修正系数,主机由开关电源,DC/DC变换器,高灵敏度电压测量部份,高稳定度恒流源,和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路,所以仪器可靠性高,测量稳定性好。 
测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针,定位准确,游移率小,使用寿命长。
 
    仪器是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,四探针方阻测试仪特别适用于斜置式四探针对于微区的测试。

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