按照硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准，本机配置232电脑接口及USB两种接口，本机采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量，更加准确.

本仪器本仪器采用四探针单电测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

二、产品简介

技术参数及功能介绍

三、主要控制功能概述

1.整机构造图

1.1主机正面

设置键 系统键

USB接口 液晶显示器 显示键 数字键 触发键

确定

退格

电源开关 接地 测试接线端口

功能选择键 方向键 确定键

图1

1.2.主机背面

通讯接口 温度接口

电源接口

图2

2.显示界面图

2.1.开机页面

图3

2.2.测试界面

图2

图4

图2

图5

3、仪器与治具连接示意图

3.1.以下系列型号：FT-331 ； FT-332 ； FT-333 ； FT-335物图如下：

特别提示：本图片包含本机所有配置，如购买中未选购其中部分，则图片有所差异.

图6

3.2.以下系列型号：FT-334 ；FT-336物图如下：

特别提示：本图片包含本机所有配置，如购买中未选购其中部分，则图片有所差异.

图7

四、工作原理和计算公式

1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：

直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：

当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：

四探针测试结构图8

当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：

从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加。

2.仪器工作原理图

图9

五、操作流程和测试步骤

1.使用前期准备--测试前准备工作：

1.1.开机预热：将220V电源插头插入电源插座，打开电源开关，让仪器预热15分钟，保证测试数据稳定。若测试仪无法正常启动，请按以下步骤检查：

①检查电源线是否接触良好；

②检查后面板上的电源开关是否已经打开

③检查保险丝是否熔断，如有必要，请更换保险丝

④
如经上述检查无误后，测试仪仍未正常启动，请联系本公司进行解决。

1.2.准备好被测物，链接好测试探头，把测试探头接口与主机接口相连接，并锁定，防止松动或接触不良而对测试结果造成影响.

1.3.接通电源，开启电源开关，待仪器液晶显示屏上显示出厂家和产品信息后，如图3，按“显示”键进入，

1.4.进入测试功能界面如图4、图5；如测试方阻时，请选择液晶显示屏又侧对应 的功能按键“方阻”，则进入方阻测试界面；如测试其他材料时，请选择“材料”则进入材料电阻，电阻率，电导率测试仪界面。

1.5.设置好被测物所需之参数，把被测物放于测试治具平台上操作，测试完毕直接显示测试数据。如配置软件，软件操作说明书同安装软件在一起，请注意查看操作步骤.

以下分别讲解方阻和材料测试的设置

2.四探针方阻测试步骤

2.1.上述步骤中1项，使用前期准备

2.2 把被测物测试所需要之参数数据设定：

2.2.1依据不同之测试样品，选择被测试电流，电流设置：按方向键移动光标至“电流”功能，按“设置”键进入；再按“左右”方向键选择电流数据，选择完毕后按“确定”键进行确认。按照以上步骤和方法选择电压、长度单位、探针形状设定、温度.

2.2.2.探针间距数据的输入，探针间距出厂时已经标定，无需再次测量，探针头上有详细的探针数据资料，探针间距的设置：将光标移动至“探针间距”按“设置”键进入，通过面板上面的“数字”按键输入数据按“确定”键进行确认；按照以上方法和步骤设定”厚度“，注意厚度和探针间距修正系数表已经设置在仪器程序中，自动修正，无需再次输入和查询表格。

2.3.测试探头和测试平台操作

选配测试平台的将被测物放在测试平台上，调节探头探针与样品良好接触，探头有二种，一种是探针是弹簧针型，一种是硬针而探头内腔有弹簧；探头有方型和直线型两种结构；调节测试平台上的水平定位角，保证水平仪水准在中心位置；放置好被测物品，后压下探头至被测物，带数据稳定后读取.

方阻测试时，在测试时电流的选择也不同

方块电阻测试时电流量程选择表

根据国标GB/T1552-1995和根据ASTM F374-84标准方法测量方块电阻所需要的电流值如下表所示

方阻测试时根据用户所选择的电压测量低压6V，中压15V，高压32V；材料测试的时候一直是6V

3.材料电阻测试步骤：

操作步骤及流程

3.1.本机可以依据不同测试产品选择配置不同的测试治具，以下举例操作说明

3.1.1.在开机界面按下按键板上的“显示”键，进入测量界面。如图1

3.1.2 如图2，在液晶显示屏右侧有4个蓝色功能按键，当测材料电阻率时，请选择 “材料”按键 ，进入材料测试主界面.

3.1.3.在该界面下通过按下按键板上的上下左右键，可以移动蓝色光标选择相应的参数。如图2，将移动到某一参数的位置，按下“设置”键，光标将变为深蓝色。此时通过上下左右键和数字键可以对相应的参数进行设置，设置完毕后按“确定”键返回。

3.1.4.如图3接线方式，把主机与夹具连接线，连接好并固定住，

3.1.5.取试样，试样试验前的处理依据标准进行，

3.1.6.把样品放于固定治具夹口内，把HD和LD接口分别与治具接口连接（不分顺序）如图3；另外两个接口与探头接线位置连接，后，放入被测样品，输入高度数据（为探针之间的间距），其他数据为样品本身尺寸。

3.1.7.试样固定住后，加压探头探针至被测样品表面，带数据稳定后读数.

3.1.8. 按下“放大”键对应的按键可以对当前界面的测量数据进行放大

3.1.9. 待参数设置完毕，开始测量，把测试获得的数据写入试验报告中

3.1.10.以下设置和功能属于配置操作软件机型使用，如您购买的无电脑操作软件的话，请勿设置.

3.1.11.接口：可选择“USB”和“232”两种模式。根据用户使用的接口类型进行选择。

测试功能：可选择：“RρK”（显示电阻，电阻率，电导率），“R”（只显示电阻），“ρ”（只显示电阻率，“K”（只显示电导率）3种显示模式。