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FT-3110 系列全自动四探针测试仪

FT-3110 系列全自动四探针测试仪
产品名称:FT-3110 系列全自动四探针测试仪
产品型号:FT-3110
品牌:ROOKO瑞柯微
产品数量:
产品单价: 面议
日期:2024-04-28
FT-3110 系列全自动四探针测试仪的详细资料

FT-3110系列全自动四探针测试仪

一.功能描述:

四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.  报表输出数据统计分析.

FT-3110系列全自动四探针测试仪
二.适用范围

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
FT-3110系列全自动四探针测试仪

规格型号

FT-3110A

FT-3110B(可扩展)

1.电阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等

8.压力范围(选购)

探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调

9.探针

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%

铜镀金或钨钢材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制

10. 可测晶片尺寸

载台选购

选购:载台晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm)

其他规格可定制

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性

单点重复性:重复性≤0.5% 

13.防护功能

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<600W 






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